[实用新型]一种化学刻蚀机无效
| 申请号： | 200420093078.4 | 申请日： | 2004-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN2727191Y | 公开（公告）日： | 2005-09-21 |
| 发明（设计）人： | 李恒强;陈光文 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周长兴 |
| 地址： | 116023*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种小型化学刻蚀机是由振荡器、刻蚀槽、固定支架、加热器和温度控制器组成。刻蚀机的振荡器速度可调，刻蚀槽温度可从室温至90℃之间可调，特别适合于不锈钢薄板的化学刻蚀。同时也可以用于硅片、瓷片、铝片、玻璃、有机玻璃、及合金材料的化学刻蚀。本刻蚀机具有体积小，重量轻，能耗小，结构简单，价格低廉，操作方便，控温精度高的特点。是一种小巧，经济实用的湿法化学刻蚀机。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 刻蚀 | ||
【主权项】：
1、一种化学刻蚀机，其特征在于，于振荡器上方设置一刻蚀槽，刻蚀槽内固定一支架，放置待刻蚀的部件；刻蚀槽内设有一加热器，该加热器与一温度控制调节器电性连接。
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