[实用新型]抛光液供给控制装置

摘要

本实用新型涉及一种抛光设备的抛光液供给控制装置，特别涉及透明导电玻璃基板的抛光设备的抛光液供给控制装置，以及对使用此抛光液供给控制装置的透明导电玻璃基板上透明导电膜的抛光过程抛光液流量供给的控制。本实用新型的抛光液供给控制装置，其在搅拌器上设置容器，容器经供液管与流量泵相连接，所述流量泵为设有流量控制功能的流量控制泵，流量控制泵为蠕动泵。本实用新型所述搅拌器为磁力搅拌器。本实用新型与现有技术相比，能在满足抛光质量的前提下，为最大限度地降低抛光液的消耗提供了可靠的控制条件，降低抛光成本。用一次性使用的抛光液抛透明导电玻璃上的透明导电膜，将所述导电膜表面粗糙度控制在Ra≤1nm。

主权项

1.一种抛光液供给控制装置，其在搅拌器(1)上设置容器(3)，容器(3)经供液管(4)与流量泵(2)相连接，其特征在于：所述流量泵(2)为设有流量控制功能的流量控制泵。