[实用新型]一种实时光学薄膜厚度监控设备无效
| 申请号： | 200420095384.1 | 申请日： | 2004-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN2833515Y | 公开（公告）日： | 2006-11-01 |
| 发明（设计）人： | 黄光周;于继荣;刘雄英 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B21/08 |
| 代理公司： | 广州粤高专利代理有限公司 | 代理人： | 何淑珍 |
| 地址： | 510640广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种实时光学薄膜厚度监控设备，由光电传感器、直流信号放大器、A/D转换器、均值滤波器、安装有剔除奇异项、极值点判断软件的计算机及显示器依次连接构成。本实用新型克服了自动化程度低、操作者劳动强度大、监控单元分辨率不高、信号处理能力差、极值点难以判断，以及数据不能自动存储等问题，从而实现了镀制过程中对光学薄膜光谱特性的实时在线监控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实时 光学薄膜 厚度 监控 设备 | ||
【主权项】：
1、一种实时光学薄膜厚度监控设备，其特征在于由光电传感器(1)、直流信号放大器(2)、A/D转换器(3)、均值滤波器(4)、安装有剔除奇异项(5)、极值点判断(6)软件的计算机及显示器(7)依次连接构成。
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