[实用新型]石英谐振压力传感器无效
| 申请号： | 200420095515.6 | 申请日： | 2004-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN2748889Y | 公开（公告）日： | 2005-12-28 |
| 发明（设计）人： | 王武立 | 申请（专利权）人： | 王武立 |
| 主分类号： | G01L1/10 | 分类号： | G01L1/10;G01L1/16 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 李双皓 |
| 地址： | 519020广东省珠海*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种以石英晶体为敏感元件的谐振式压力传感器。本实用新型的技术方案是：一种石英谐振压力传感器，包括壳体、底座、力传递体、两个压电石英谐振器做成的敏感元件以及分别与两所述敏感元件相连的两对电极、环形金属薄膜；所述壳体、底座以及环形金属薄膜形成的带有介质入口的压力腔以及一个封闭腔体；两个所述敏感元件和所述力传递体被设置于所述封闭腔体中，所述力传递体与所述环形金属薄膜的膜心相接触，所述力传递体与所述底座相连；两所述敏感元件位于所述底座和所述力传递体之间。由于本实用新型采用了通过配对获取力敏角度特性相同的两石英晶片作为敏感元件，在受到相反方向作用力的时候，会产生相反的、等值的频率改变，形成共模差动输出信号，提高了传感器的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 谐振 压力传感器 | ||
【主权项】：
1、一种石英谐振压力传感器，包括壳体、底座、力传递体、两个压电石英谐振器做成的敏感元件以及分别与两所述敏感元件相连的两对电极、环形金属薄膜；所述壳体、底座以及环形金属薄膜形成的带有介质入口的压力腔以及一个封闭腔体；其特征在于，两个所述敏感元件和所述力传递体被设置于所述封闭腔体中，所述力传递体与所述环形金属薄膜的膜心相接触，所述力传递体与所述底座相连；两所述敏感元件位于所述底座和所述力传递体之间。
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