[实用新型]光学镀膜装置无效
申请号: | 200420095699.6 | 申请日: | 2004-11-20 |
公开(公告)号: | CN2750327Y | 公开(公告)日: | 2006-01-04 |
发明(设计)人: | 林志泉 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | G02B1/10 | 分类号: | G02B1/10;C23C14/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518109广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种光学镀膜装置,其包括一镀膜室、一承载架、一挡流板及一蒸镀源,该挡流板位于该承载架与该蒸镀源之间,该挡流板可伸展,且该挡流板的展开角度可调节。本实用新型的光学镀膜装置由于不需要直接修正挡流板的几何形状,因此降低镀膜成本、镀膜程序简单、容易实现镀膜均匀性。 | ||
搜索关键词: | 光学 镀膜 装置 | ||
【主权项】:
1.一种光学镀膜装置,其包括镀膜室、承载架、挡流板及蒸镀源,其特征在于,该承载架、挡流板及蒸镀源皆设在镀膜室内,其中,该挡流板位于承载架与蒸镀源之间,其可根据要求按任一角度展开。
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