[实用新型]膜厚监控装置无效
| 申请号： | 200420103612.5 | 申请日： | 2004-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN2763776Y | 公开（公告）日： | 2006-03-08 |
| 发明（设计）人： | 张庆州 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一膜厚监控装置包括一光源、一光侦察器、一单光仪、多个导光元件及一滤光装置。该光源用以提供光信号，其中部分作为参考光信号，部分作为监测光信号；该光侦察器用以侦测输入的参考光信号及监测光信号；该单光仪用以将输入的参考光信号及监测光信号滤成单色光；该多个导光元件用以将光源发出的参考光信号传递至单光仪，同时将光源发出的监测光信号传递至薄膜并将薄膜反射的监测光信号传递至单光仪；该滤光装置位于单光仪与光侦察器之间，用以自单光仪过滤的单色光中选择对应监测波长的光信号。其可有效排除其它杂散光、震动等对监测结果的影响。另，通过导光元件连接各部件，增加了该膜厚监控装置组装的便利性。 | ||
| 搜索关键词： | 监控 装置 | ||
【主权项】：
1.一膜厚监控装置，用于监控镀膜过程中的薄膜厚度，其包括一光源、一光侦察器、一单光仪、多个导光元件，该光源提供光信号，其中部分作为参考光信号，部分作为监测光信号，该光侦察器侦测输入的参考光信号及监测光信号，通过侦测结果的变化了解膜厚的变化，该单光仪将输入的参考光信号及监测光信号滤成单色光，该多个导光元件将光源发出的参考光信号传递至单光仪，同时将光源发出的监测光信号传递至薄膜并将薄膜反射的监测光信号传递至单光仪，其特征在于：该膜厚监控装置还包括一滤光装置，其位于单光仪与光侦察器之间并从单光仪过滤的单色光中选择对应监测波长的光信号。
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