[实用新型]彩色显像管残余气体分析设备

摘要

本实用新型提供了一种彩色显像管残余气体分析设备，它包括抽气装置、质谱分析装置和取样装置。抽气装置包括顺序相连的机械泵、吸附阱和分子泵，分子泵的进口端分别通过管路与质谱分析装置和取样装置连通。质谱分析装置包括四极质谱计、超高真空电离规、溅散离子泵和质谱分析室，四极质谱计、超高真空电离规和溅散离子泵分别通过管路与质谱分析室连通，质谱分析室还通过管路分别与抽气装置的分子泵和取样装置连通。取样装置为取样管道。利用本分析设备能分析出彩色显像管内的残余气体成分及其分压力，还能在较短时间内测量出彩色显像管的扫屏放气性能，用其判定彩色显像管的内在真空质量，进而判定或比较制屏工艺与材料包括排气工艺与设备的优劣，预估因真空因素导致失效的整管寿命水平，具有实际应用价值。

主权项

1.一种彩色显像管残余气体分析设备，将彩色显像管与其连接，其特征在于：所述分析设备包括抽气装置、质谱分析装置和取样装置；所述抽气装置包括顺序相连的机械泵、吸附阱和分子泵，分子泵的进口端分别通过管路与质谱分析装置和取样装置连通；所述质谱分析装置包括四极质谱计、超高真空电离规、溅散离子泵和质谱分析室，四极质谱计、超高真空电离规和溅散离子泵分别通过管路与质谱分析室连通，质谱分析室还通过管路分别与抽气装置的分子泵和取样装置连通；所述取样装置为取样管道，取样装置与取样玻管连通，取样玻管与彩色显像管连接，取样装置的进气端与彩色显像管相连通，取样装置的出气端与质谱分析装置相连通。