[实用新型]金属线宽及金属间距渐变的平面螺旋电感无效
| 申请号： | 200420114664.2 | 申请日： | 2004-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN2768205Y | 公开（公告）日： | 2006-03-29 |
| 发明（设计）人： | 石艳玲;王勇;刘贇;陈寿面 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学;上海华虹(集团)有限公司;上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/00 | 分类号： | H01L27/00;H01L29/00;H01L21/02;H01F17/00;H01F37/00 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人： | 滕怀流;陆飞 |
| 地址： | 200062*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型属集成电路器件制造技术领域，具体为一种金属线宽及金属间距渐变的平面螺旋电感。在不改变版图面积和内径大小的前提下，该电感的金属导体线宽wn从内到外依次增大，金属线间距sn从内到外随着wn的增大而增大。该电感的金属导体损耗小，品质因子Q值高，能与常规CMOS工艺相兼容，且能改善CMOS射频前端的重要功能单元的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 金属线 金属 间距 渐变 平面 螺旋 电感 | ||
【主权项】：
1、一种集成电路中的平面螺旋电感，其特征是，该电感的金属线宽wn是渐变的，从内到外依次增大；金属间间距sn也是渐变的，从内到外随wn的增大而增大。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
