[实用新型]光电设备用干式真空泵冷却系统无效
申请号: | 200420114793.1 | 申请日: | 2004-12-27 |
公开(公告)号: | CN2764980Y | 公开(公告)日: | 2006-03-15 |
发明(设计)人: | 吴明田 | 申请(专利权)人: | 日扬电子科技(上海)有限公司 |
主分类号: | F04D29/58 | 分类号: | F04D29/58 |
代理公司: | 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人: | 翁若莹 |
地址: | 200436上海市宝*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种光电设备用干式真空泵冷却系统,包括水套、水套、管路和管路,其特征在于,在水套内分别设有温度传感器和油位开关,在水套外设有供给水套水的水箱,在水套外盖侧分别设有带有冷媒的鳍片管,管路一端分别连接鳍片管,另一端连接热交换机,在热交换机出口处设有冷媒调整阀和控制器。本实用新型的优点是水套不易被冲蚀,泵体高低温工作容易切换。 | ||
搜索关键词: | 光电 备用 真空泵 冷却系统 | ||
【主权项】:
1.一种光电设备用干式真空泵冷却系统,包括水套(1)、水套(2)、管路(11)和管路(21),其特征在于,在水套(1)和水套(2)内分别设有温度传感器(62)、温度传感器(64)和油位开关(63),在水套(1)和水套(2)外设有供给水套(1)和水套(2)水的水箱(65),在水套(1)和水套(2)外盖(5)侧分别设有带有冷媒的鳍片管(3)和鳍片管(4),管路(11)和管路(21)一端分别连接鳍片管(3)和鳍片管(4),另一端连接热交换机(7),在热交换机(7)出口处设有冷媒调整阀(61)和控制器(6)。
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