[实用新型]水气供应装置无效
| 申请号： | 200420117488.8 | 申请日： | 2004-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN2751035Y | 公开（公告）日： | 2006-01-11 |
| 发明（设计）人： | 李育舟;钟享显;陈建裕 | 申请（专利权）人： | 中华映管股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种水气供应装置，其包括一水瓶、一质量流量控制器、一第一管件、一第二管件以及一第一加热器，其中第一管件是连接水瓶与质量流量控制器，而第一加热器是配置于第一管件上，或配置在第一管件与第二管件上。此外，本装置更可以在水瓶的顶盖上配置一第二加热器。本实用新型是采用配置加热器的设计，使得水气不易凝结于管件内壁，以避免发生水气流量减低或是堵塞的现象。基于上述，本实用新型的水气供应装置能够供应流量稳定的水气，以形成品质较为稳定的薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 水气 供应 装置 | ||
【主权项】：
1.一种水气供应装置，适于供应一水气至一溅镀设备之一反应腔室内，其特征在于，该水气供应装置包括：一水瓶；一质量流量控制器；一第一管件，连接该水瓶与该质量流量控制器；一第二管件，连接该质量流量控制器与该反应腔室；以及一第一加热器，配置于该第一管件上。
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