[实用新型]滑块往复式对靶溅射加热传动装置

摘要

一种滑块往复式对靶溅射加热传动装置，它包括有一个箱体，在箱体的底部设有样品架往复移动口，在箱体的底部设有蜗杆，在该蜗杆上连接有滑块，该滑块的上端连接有进入箱体内的支撑杆，在该支撑杆的上端连接有样品架，在箱体前后面内设有加热陶瓷基体，在箱体前后对应面上设有方形溅射口。所述的样品架为长方形结构，在长方形的样品架上均匀开有至少两个基片固定槽孔。在加热陶瓷基体上设有蛇形加热丝。在加热陶瓷基体内侧设有均热石英板。本实用新型的优点是，结构简单、使用方便、可高效地满足直流溅射方法制备高性能、均匀性好的大面积高温超导薄膜，并满足批量化制备的要求。

主权项

1、一种滑块往复式对靶溅射加热传动装置，其特征在于：它包括有一个箱体1，在箱体的底部设有样品架往复移动口(7)，在箱体的底部设有蜗杆(8)，在该蜗杆(8)上连接有滑块(19)，该滑块的上端连接有进入箱体内的支撑杆(18)，在该支撑杆(18)的上端连接有样品架(14)，在箱体前后面内设有加热陶瓷基体(2)，在箱体前后对应面上设有方形溅射口(6)。