[实用新型]一种长寿命的离子源阴极装置无效
| 申请号： | 200420120110.3 | 申请日： | 2004-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN2763965Y | 公开（公告）日： | 2006-03-08 |
| 发明（设计）人： | 戴习毛 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J27/02;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京中海智圣专利商标代理事务所 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种长寿命的离子源阴极装置，该装置包括：一阴极、一阴极卡、一阴极卡座、一支撑圆筒座、一固定圆筒和一固定石墨屏蔽板；所述的阴极内嵌于阴极卡上，所述的阴极卡通过阴极卡座、支撑圆筒座和固定圆筒锁紧固定在石墨热屏蔽板上。该实用新型具有结构简单，连接稳定可靠，热变形小且使用寿命长的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 寿命 离子源 阴极 装置 | ||
【主权项】：
1.一种长寿命的离子源阴极装置，其特征在于：该装置包括：一阴极、一阴极卡、一阴极卡座、一支撑圆筒座、一固定圆筒和一固定石墨屏蔽板；所述的阴极内嵌于阴极卡上；所述的阴极卡通过阴极卡座、支撑圆筒座和固定圆筒锁紧固定在石墨热屏蔽板上。
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