[实用新型]离子源加热电子枪装置无效

专利信息
申请号: 200420120111.8 申请日: 2004-12-23
公开(公告)号: CN2779600Y 公开(公告)日: 2006-05-10
发明(设计)人: 戴习毛 申请(专利权)人: 北京中科信电子装备有限公司
主分类号: H01J37/08 分类号: H01J37/08;H01J27/02
代理公司: 北京中海智圣知识产权代理有限公司 代理人: 曾永珠
地址: 100036北京市海淀区复兴路*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型涉及一种离子源加热电子枪装置,其由螺旋灯丝电子枪、灯丝杆、灯丝杆卡管和固定杆组成。螺旋灯丝电子枪为高纯钨材料制成的圆形螺旋状结构,离子源通过它发射电子加热阴极块材料。灯丝杆连接螺旋灯丝电子枪和灯丝杆卡管。灯丝杆卡管通过卡住固定杆固定螺旋灯丝电子枪。固定杆固定整个电子枪装置。本实用新型的加热灯丝受屏蔽筒保护,不直接处于放电室恶劣环境中,不直接受到腐蚀气体侵蚀及离子溅射等作用,因此使离子源使用寿命提高到200小时以上。
搜索关键词: 离子源 加热 电子枪 装置
【主权项】:
1.一种离子源加热电子枪装置,由螺旋灯丝电子枪、灯丝杆、灯丝杆卡管和固定杆组成,其特征在于:所述的螺旋灯丝电子枪为圆形螺旋状结构;所述的灯丝杆连接螺旋灯丝电子枪和灯丝杆卡管;所述的灯丝杆卡管通过卡住固定杆固定螺旋灯丝电子枪;所述的固定杆固定整个电子枪装置。
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