[实用新型]超高真空闸板阀

摘要

本实用新型涉及一种在超高真空系统中的用于调节气体流量、切断或接通管路的超高真空闸板阀，包括上阀板、下阀板、驱动装置及阀体，阀体内设有阀板架，上、下阀板分别安装在阀板架的两侧，上阀板内圆周壁设有密封圈，下阀板上开有导向槽，上、下阀板与阀板架相对的表面均开有雨点状凹槽，置有滚珠；阀板架上开有圆孔，圆孔的两侧设有限位轴承，阀板架的一端设有定位轴，另一端设有轴承，驱动装置经轴承与阀板架相连接，阀板架的两侧及连接上阀板的一面设有导向轴承，上、下阀板上均设有凹槽，凹槽上固接有挡杆，挡杆上连接有板簧，上、下阀板经定位轴通过板簧相连接，阀板架上在圆孔的外围均布有多个滚珠架。本实用新型可减少微尘、减少夹气。

主权项

1.一种超高真空闸板阀，包括上阀板、下阀板、驱动装置及阀体，阀体内设有阀板架，上、下阀板分别安装在阀板架的两侧，上阀板内圆周壁设有密封圈，下阀板上开有导向槽，上、下阀板与阀板架相对的表面均开有雨点状凹槽，置有滚珠；阀板架上开有圆孔，圆孔的两侧设有限位下阀板的限位轴承，阀板架的一端设有定位轴，另一端设有轴承，驱动装置经轴承与阀板架相连接，阀板架的两侧及连接上阀板的一面设有导向轴承，其特征在于：所述上阀板(1)及下阀板(2)上均设有凹槽(6)，凹槽(6)上固接有挡杆(7)，挡杆(7)上连接有板簧(8)，上阀板(1)及下阀板(2)经定位轴(16)通过板簧(8)相连接；所述阀板架(3)上在圆孔(11)的外围均布有多个滚珠架(12)。