[实用新型]带集成散热器的卤素灯组件无效
| 申请号： | 200420121886.7 | 申请日： | 2004-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN2770286Y | 公开（公告）日： | 2006-04-05 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·特鲁希略;罗杰·安德森;戴维·卡尔森;迈克尔·黑尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H05K7/20 | 分类号： | H05K7/20;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于衬底处理室的卤素灯组件，其具有卤素灯和单块陶瓷散热器。所述卤素灯包括密封在具有夹紧密封端的密封罩中的灯丝和一对电连接器。所述单块陶瓷散热器包括块和从所述块向外突出的间隔开的柱子的阵列。所述块包括腔和开口，所述腔具有形状与所述灯的所述夹紧密封端匹配的凹入内表面，所述开口允许所述卤素灯的所述电连接器穿过。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 散热器 卤素灯 组件 | ||
【主权项】：
1.一种用于衬底处理室的卤素灯组件，所述卤素灯组件包括：(a)卤素灯，包括：(i)基本透明的密封罩，所述密封罩具有夹紧密封端；(ii)在所述密封罩中的灯丝；和(iii)连接到所述灯丝并穿过所述夹紧密封端的一对电连接器；和(b)单块陶瓷散热器，包括：(i)具有凹入内表面和开口的块，所述凹入内表面的形状与所述卤素灯的所述夹紧密封端匹配，所述开口允许所述卤素灯的所述电连接器穿过，和(ii)从所述块向外突出的间隔开的柱子的阵列。
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