[发明专利]刻印方法和刻印装置无效
| 申请号： | 200480000487.8 | 申请日： | 2004-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN1698196A | 公开（公告）日： | 2005-11-16 |
| 发明（设计）人： | 有贺刚;荻原顺一 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01L23/12 | 分类号： | H01L23/12 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供通过将形成铸型图案的模具部件(40)按压到在作为被加工物体的基板(50)的主面上形成的膜被上，使铸型图案复印到膜被上的刻印方法。将多块基板(50)固定在吸盘台(20)上，并且可以用加热器(21)和冷却管(22)选择地加热基板。将模具部件(40)固定在与载物台(20)相对配置的顶部板(30)上。决定被选择加热的基板(50)和模具部件(40)的相互位置，使模具部件(40)按压在该基板(50)上的膜被上。反复进行该操作，对全部基板实施刻印。 | ||
| 搜索关键词： | 刻印 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种刻印方法，将形成铸型图案的模具部件按压到在被加工物体的主面上形成的膜被上，使所述铸型图案复印到所述膜被上，其特征在于，该方法包括：(a)将多个所述物体配列在大致同一平面上的工序；和(b)通过反复进行下列副工序(b1)～(b3)，将所述铸型图案分别复印到所述多个物体上的膜被上的工序，其中，(b1)选择地使配列的所述物体中的1个升温的副工序；(b2)决定升温了的所述物体和所述模具部件的相互位置的副工序；(b3)将所述模具部件按压到所述物体上的所述膜被上的副工序。
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