[发明专利]放射线固化性组合物、其保存方法、固化膜形成方法、图案形成方法、图案使用方法、电子部件及光波导无效
| 申请号： | 200480000499.0 | 申请日： | 2004-10-07 |
| 公开（公告）号： | CN1698018A | 公开（公告）日： | 2005-11-16 |
| 发明（设计）人： | 樱井治彰;阿部浩一 | 申请（专利权）人： | 日立化成工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 钟晶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的放射线固化性组合物含有(a)成分：硅氧烷树脂、(b)成分：光酸发生剂或光碱发生剂、及(c)成分：可溶解(a)成分并且含有非质子型溶剂的溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 放射线 固化 组合 保存 方法 形成 图案 使用方法 电子 部件 波导 | ||
【主权项】：
1.一种放射线固化性组合物，其特征在于：其含有(a)成分：硅氧烷树脂、(b)成分：光酸发生剂或光碱发生剂、及(c)成分：可溶解(a)成分并且含有非质子型溶剂的溶剂。
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