[发明专利]小滴喷射装置和电光学装置及其制造方法和电子器件有效

专利信息
申请号: 200480000843.6 申请日: 2004-02-17
公开(公告)号: CN1700959A 公开(公告)日: 2005-11-23
发明(设计)人: 小岛健嗣 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: B05C5/00 分类号: B05C5/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 宋合成
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种小滴喷射装置,包括:具有小滴喷射头的头单元;头单元支撑件(61),用于支撑头单元;X轴方向移动机构(6),用于移动头单元支撑件(61);和头驱动控制部分(130),用于控制小滴喷射头的驱动。所述头驱动控制部分(130)设置在头单元支撑件上,以便头驱动控制部分与头单元一起相对于主体移动。这样,能够提供一种小滴喷射装置,其能够抑制绘图数据传输过程中噪音的产生,并对小滴喷射头进行精确地驱动;一种使用这种小滴喷射装置制造的电光学装置;一种使用这种小滴喷射装置制造电光学装置的方法;和一种包括这种小滴喷射装置的电子器件。
搜索关键词: 喷射 装置 光学 及其 制造 方法 电子器件
【主权项】:
1.一种小滴喷射装置,包括:主体;工件放置部分,工件将被放置在其上;头单元,其具有至少一个小滴喷射头,用于喷射将用于工件上的液体小滴;头单元支撑件,用于支撑头单元;头单元移动机构,用于相对于主体沿水平方向移动头单元支撑件;头驱动控制部分,用于控制至少一个小滴喷射头的驱动;控制单元,用于控制头驱动控制部分,所述控制单元存储包括多个图案的绘图数据;第一传输装置,其将控制单元连接到头驱动控制部分,用于将绘图数据从控制单元传输到头驱动控制部分;和第二传输装置,其将头驱动控制部分连接到至少一个小滴喷射头,用于将绘图数据从头驱动控制部分传输到至少一个小滴喷射头;其中小滴喷射装置被构造为:通过从至少一个小滴喷射头向工件喷射小滴,同时使工件放置部分和头单元相对于彼此移动,从而在工件上形成多个图案中的预定图案;其特征在于,头驱动控制部分设置在头单元支撑件上,从而头驱动控制部分通过头单元移动机构相对于主体沿水平方向移动。
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