[发明专利]改进紧固件的方法和设备无效
| 申请号： | 200480001381.X | 申请日： | 2004-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN1705561A | 公开（公告）日： | 2005-12-07 |
| 发明（设计）人： | 史蒂文·T·菲恩克 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B32B15/04 | 分类号： | B32B15/04;E01B9/10 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王萍 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于等离子体处理系统的改进零件，并且更具体地涉及用于等离子体处理室的内部室零件的紧固件。此外，本发明涉及制造这种紧固件的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 改进 紧固 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于等离子体处理系统的紧固件，包括：扩大的头；啮合段；以及抗等离子体涂层。
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