[发明专利]波像差测定装置无效
| 申请号： | 200480001443.7 | 申请日： | 2004-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN1705867A | 公开（公告）日： | 2005-12-07 |
| 发明（设计）人： | 江田幸夫 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种测定被检光学系统的波像差的波像差测定装置。照明系统(1)具有输出各波长(λ1、λi)的激光束的激光光源(1－1、1－2)，对应被作为进行波像差分析的对象的被检光学系统(8)的波长(λ1、 λi)选择任意一个激光光源(1－1、1－2)，波像差分析装置(2)根据在照明系统(1)所选择的激光束的波长(λ1、λi)和干涉条纹图像数据，分析被检光学系统(8)的波像差。 | ||
| 搜索关键词： | 波像差 测定 装置 | ||
【主权项】：
1.一种波像差测定装置，用于测定被检光学系统的波像差，其特征在于，具有：照明系统，输出可选择为任意波长的相干光；干涉仪，通过使从所述照明系统输出的所述相干光通过所述被检光学系统，来生成反映了所述被检光学系统的光学性能的干涉条纹；和分析部，根据从所述照明系统输出的所述相干光的波长和由所述干涉仪生成的干涉条纹，分析所述被检光学系统的波像差。
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