[发明专利]固体摄像元件及其制造方法

摘要

一种固体摄像元件及其制造方法，在所述固体摄像元件中，电力供给线(8)覆盖分离区域(4)的上方。形成具有透光性且其表面在分离区域(4)上向着通道区域(5)成为连续凸部的上层透镜膜(24)。而且，通过使上层透镜膜(24)上方为比上层透镜膜(24)折射率更低的透光性物质，使上层透镜膜(24)在电力供给线(8)上具有棱镜的功能，能够将入射到电力供给线(8)的光导向作为受光元件区域的通道区域(5)。根据本发明，提高固体摄像元件的受光感度。

主权项

1.一种固体摄像元件，其特征在于设置有：半导体基板；在该半导体基板的一个主面上相隔一定距离而平行配置的多个通道区域；在这些多个通道区域的间隙上配置的多个分离区域；在所述半导体基板上与所述多个通道区域的交叉方向延长配置的多个传送电极；在所述多个传送电极上沿所述多个分离区域而配置的多条电力供给线；在所述多个传送电极上覆盖所述多条电力供给线而层叠的透光性绝缘膜；以及在所述绝缘膜上层叠的透光性的上层与下层透镜膜，所述绝缘膜的厚度，在所述分离区域的中心变厚，同时在所述通道区域的中心变薄，且所述上层透镜膜的表面具有在所述分离区域上面向所述通道区域呈连续凸部的形状，所述上层透镜膜具有比所述上层透镜膜的上层的物质更高的折射率。