[发明专利]正型感光性组合物无效
| 申请号： | 200480001589.1 | 申请日： | 2004-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN1717630A | 公开（公告）日： | 2006-01-04 |
| 发明（设计）人： | 佐藤勉 | 申请（专利权）人： | 株式会社新克 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种正型感光性组合物，其特征是：无须进行烤版并且在湿度为25－60％的条件下涂布后能够获得充分的粘附性，能够在低的碱强度下显影，能够保持高感光度并且显影中不会产生残渣，从而所形成的图案的轮廓清晰，抗蚀剂膜非常坚硬，因而可以提高显影前的处理中的耐擦伤性。该正型感光性组合物含有作为必要成分的(A)分子中具有至少1个羧基的高分子物质、和(B)吸收图像曝光光源的红外线并转变成热的光热转换物质。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 组合 | ||
【主权项】：
1.一种正型感光性组合物，其特征在于，含有(A)分子中具有至少1个羧基的高分子物质、和(B)吸收图像曝光光源的红外线并转变成热的光热转换物质。
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