[发明专利]用于密封物品中大泄漏检测的方法和装置有效
申请号: | 200480001643.2 | 申请日: | 2004-06-09 |
公开(公告)号: | CN1720432A | 公开(公告)日: | 2006-01-11 |
发明(设计)人: | 查尔斯·伯金斯;彼得·N·帕伦斯蒂恩 | 申请(专利权)人: | 瓦里安有限公司 |
主分类号: | G01M3/20 | 分类号: | G01M3/20 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 王怡 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 提供了用于检测密封物品中的大泄漏的方法和装置。用于检漏的装置包括:被配置来接收包含示踪气体的试件的第一可密封室、第二可密封室、耦合在第一与第二室之间的第一阀、具有测试端口的检漏仪、耦合在第二室与检漏仪的测试端口之间的示踪气体可透过构件、具有入口的真空泵以及耦合在第二室与真空泵的入口之间的第二阀。可透过构件可以是石英,当被加热时其对于氦是可透过的。检漏仪可以是离子泵或者氦质谱检漏仪。 | ||
搜索关键词: | 用于 密封 物品 泄漏 检测 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种用于检漏的装置,包括:第一可密封室,被配置以接收包含示踪气体的试件;第二可密封室;第一阀,耦合在所述第一与第二室之间;具有测试端口的检漏仪;示踪气体可透过构件,耦合在所述第二室与所述检漏仪的所述测试端口之间;具有入口的真空泵;和第二阀,耦合在所述第二室与所述真空泵的入口之间。
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