[发明专利]用于大泄漏测试的方法和装置有效
| 申请号： | 200480001644.7 | 申请日： | 2004-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN1720433A | 公开（公告）日： | 2006-01-11 |
| 发明（设计）人： | 查尔斯·伯金斯;彼得·N·帕伦斯蒂恩 | 申请（专利权）人： | 瓦里安有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王怡 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了用于大泄漏测试的方法和装置。该装置包括用于接收包含示踪气体的样本的测试管线、用于检测示踪气体并具有用于接收示踪气体的入口的质谱仪、特征在于轻气体的反向流率相对高且重气体的反向流率相对低的第一真空泵，第一真空泵具有泵入口和前级管线，泵入口耦合到质谱仪的入口，以及被配置来支持第一真空泵的第二真空泵。该装置还包括示踪气体可透过构件，该示踪气体可透过构件耦合在测试管线和泵入口、前级管线或当第一真空泵为涡轮分子泵时的中间级管线之间。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 泄漏 测试 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于检漏的装置，包括：测试管线，被配置以接收包含示踪气体的样本；质谱仪，被配置以检测所述示踪气体，并且具有用于接收所述示踪气体的入口；第一真空泵，其特征在于轻气体的反向流率相对高，并且重气体的反向流率相对低，所述第一真空泵具有泵入口和前级管线，所述泵入口耦合到所述质谱仪的入口；前级管线阀，耦合在所述第一真空泵的前级管线和所述测试管线之间；示踪气体可透过构件，耦合在所述测试管线和所述质谱仪的入口之间；以及第二真空泵，具有耦合到所述测试管线的入口。
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