[发明专利]加工系统的自动配置方法有效
| 申请号： | 200480001737.X | 申请日： | 2004-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN1723423A | 公开（公告）日： | 2006-01-18 |
| 发明（设计）人： | 希尤·A.·莱姆;凯文·A.·查姆尼斯;岳江宇;戴维·法特克;原田智;爱德华·C.·休姆三世;詹姆斯·E.·威利斯 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 康建忠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种为半导体制造环境自动配置先进工艺控制(APC)系统的方法，其中产生用于执行自动配置程序的自动配置脚本。自动配置脚本激活用于输入到自动配置程序中的默认值。执行自动配置脚本，以便产生从自动配置程序输出的启用参数文件。启用参数文件识别用于统计工艺控制(SPC)图表生成的参数。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 系统 自动 配置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种为半导体加工环境自动配置系统的方法，包括：产生用于执行自动配置程序的自动配置脚本，其中所述自动配置脚本激活用于输入到自动配置程序中的默认值；和执行所述自动配置脚本，以便产生从所述自动配置程序输出的启用参数文件，其中所述启用参数文件识别用于统计工艺控制(SPC)图表生成的参数。
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