[发明专利]用于等离子抽取孔的安装机构无效
| 申请号： | 200480001844.2 | 申请日： | 2004-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN1723527A | 公开（公告）日： | 2006-01-18 |
| 发明（设计）人： | V·本威尼斯特 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯技术公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/317;H01J27/18 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨松龄 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了一种用于离子注入机的改进的电极组件。该组件包括：(i)位于第一平面内并具有第一孔的第一大致平面的电极；(ii)位于大致平行于第一平面的第二平面内并具有与第一孔对准的第二孔的第二大致平面的电极；以及(iii)将第一大致平面的电极连接到第二平面的电极上的一对连杆。连杆允许第二大致平面的电极相对于第一大致平面的电极以大致平行且可滑动的方式运动。连杆以彼此非平行的关系设置，使得在经历热膨胀时第一和第二电极可在这些非平行连杆上彼此间相对地滑动，以便增大或减少其间的距离，并同时维持平行的关系。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 等离子 抽取 安装 机构 | ||
【主权项】：
1.一种用于离子注入机的电极组件，包括：(i)位于第一平面内并具有第一孔的第一大致平面的电极；(ii)位于大致平行于所述第一平面的第二平面内并具有与所述第一孔对准的第二孔的第二大致平面的电极；(iii)将所述第一大致平面的电极连接到所述第二大致平面的电极上的一对连杆，所述连杆允许所述第二大致平面的电极相对于所述第一大致平面的电极以大致平行且可滑动的方式运动，所述连杆以彼此非平行的关系来设置；因此，在经历热膨胀时所述第一和第二电极可在所述非平行的连杆上彼此相对地滑动，以便增大或减少其间的距离，同时维持平行的关系。
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