[发明专利]荧光X射线分析装置

摘要

本发明的课题在于提供一种进行氦置换的荧光X射线分析装置，容易更换试样室和照射室之间的隔壁膜，在分析时，试样室的空气不流入照射室。第1支架(21)按照其窗(21a)与试样室(3)和照射室(8)之间的壁部(4)的窗(4a)重合的方式气密地安装于壁部(4)上，按照覆盖第1支架的窗(21a)的方式设置隔壁膜(9)。第2支架(23)按照其窗(23a)夹持隔壁膜(9)，与第1支架的窗(21a)重合的方式设置。另外，支架(21，23)中的其中一个为永久磁铁，另一个由吸附于其上的材料形成，支架(21，23)夹持隔壁膜(9)的周边部，并且第2支架(23)可相对第1支架(21)而装卸。

主权项

1.一种荧光X射线分析装置，该荧光X射线分析装置包括：在大气气氛中试样以可更换的方式接纳的试样室；接纳对试样照射1次X射线的X射线源的照射室；隔壁膜，该隔壁膜按照覆盖设置于分隔上述试样室和照射室的壁部上的窗的方式设置，使X射线通过；分光室，该分光室接纳有对从试样产生的荧光X射线进行分光，并对其检测的检测机构，该分光室与上述照射室连通；该荧光X射线分析装置对上述照射室和分光室进行氦置换；其特征在于：具有窗的第1支架按照该窗与上述壁部的窗重合的方式以气密方式安装于壁部上；按照覆盖与上述壁部的窗重合的第1支架的窗的方式设置上述隔壁膜；具有窗的第2支架按照该窗夹持上述隔壁膜，与上述第1支架的窗重合的方式设置；上述第1支架和第2支架中的一个由永久磁铁形成，另一个由吸附于永久磁铁上的材料形成，由此，上述第1支架和第2支架沿其厚度方向夹持上述隔壁膜的周边部，并且上述第2支架可相对以气密方式安装于上述壁部上的第1支架而自由装卸。