[发明专利]簇化流体的流量控制方法以及该方法中所使用的簇化流体用流量控制装置有效
| 申请号： | 200480002284.2 | 申请日： | 2004-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN1739072A | 公开（公告）日： | 2006-02-22 |
| 发明（设计）人： | 大见忠弘;杉山一彦;水泽兼悦;高桥荣治;宇野富雄;西野功二;土肥亮介;池田信一;永濑正明 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金;东京毅力科创株式会社;大见忠弘 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明使得能够使用压力式流量控制装置，在3～300SCCM左右的流量范围内，对供给真空腔室等的HF气体等簇化流体高精度地进行流量控制。具体地说，使用压力式流量控制装置的簇化流体的流量控制方法是下述方法，即在节流孔上游侧的气体的压力P1与节流孔下游侧的气体的压力P2之比P2/P1保持在气体的临界压力比以下的状态下，在节流孔中流通的气体的流量Q按照Q＝KP1(其中，K为常数)进行运算，其中，将前述压力式流量控制装置加温到40℃以上，或者向簇化流体中添加稀释气体使之达到分压以下，从而使得缔合的分子离解，之后使得变成了单分子状态的簇化流体通过所述节流孔流通。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 流量 控制 方法 以及 使用 装置 | ||
【主权项】：
1.一种簇化流体的流量控制方法，其特征在于，在通过流量控制器将来自流体供给源的簇化流体向所希望的设备·装置供给的簇化流体的供给方法中，对前述流量控制器进行加热，使得在该流量控制器中流通的簇化流体的分子的缔合离解，通过流量控制器对成为了单分子状态的簇化流体进行流量控制并进行供给。
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