[发明专利]成膜装置用结构部件及其清洗方法

摘要

本发明提供了一种成膜装置用结构部件以及该结构部件的清洗方法。所述装置具有能够用比以往更少的时间剥离去除形成在结构部件上的附着膜d，减轻由于清洗液s造成的构造上的损坏。通过溶射、蒸镀、溅镀、层压(laminating)等方法在母材金属(1)的表面形成在电化学性上比所述结构部件的母材(1)金属贱的金属膜层(2)。或采用上述溶射等方法，通过在金属膜层(2)的表面形成在电化学性上比上述母材金属(1)贵的第2金属膜层(3)，从而使金属膜层(2)在与母材金属(1)或第2金属膜层(3)之间形成局部电池，可使母材金属(1)自身不受清洗液的损伤，以极短的时间剥离堆积在母材金属(1)上的附着膜d。

主权项

1.一种成膜装置用结构部件，为在衬底上形成薄膜的成膜装置的结构部件，其特征在于：通过溶射、蒸镀、溅镀、层压等方法在母材金属的表面形成了在电化学性上比所述结构部件的母材金属贱的金属膜层。