[发明专利]等离子体处理装置和等离子体处理方法无效
| 申请号： | 200480002531.9 | 申请日： | 2004-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN1742522A | 公开（公告）日： | 2006-03-01 |
| 发明（设计）人： | 石井信雄;筱原己拔 | 申请（专利权）人： | 东京威力科创股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈瑞丰 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种等离子体处理装置，包括上面放置有目标物体的工作台、容纳工作台并通过高频电磁场在其中产生等离子体的容器、产生高频电磁场的高频振荡器(30)，以及输出功率低于高频振荡器(30)且振荡频率稳定的参考振荡器(34)。所述参考振荡器(34)产生的参考信号被注入高频振荡器(30)中，将高频振荡器(30)的振荡频率固定在参考信号的频率。从而，当在高频振荡器(30)与容器之间设置自动匹配装置，并根据参考信号的频率设计容器时，能够实现精确的负载匹配，提高能量效率。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体处理装置，其特征在于，它包括：工作台，它上面设置目标物体；容纳所述工作台的容器，并在该容器中通过供送给其中的高频电磁场产生等离子体；产生高频电磁场的高频振荡器；输出功率低于所述高频振荡器且振荡频率稳定的参考振荡器；其中，所述参考振荡器产生的参考信号被注入所述高频振荡器中，将所述高频振荡器的振荡频率固定在该参考信号的频率。
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