[发明专利]探测装置及使用该探测装置的显示基板测试装置无效
申请号: | 200480002851.4 | 申请日: | 2004-01-23 |
公开(公告)号: | CN1742210A | 公开(公告)日: | 2006-03-01 |
发明(设计)人: | 上野俊明;山田范秀 | 申请(专利权)人: | 安捷伦科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/302 | 分类号: | G01R31/302 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 王怡 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 在包含作为被测试电路的TFT阵列的显示基板(11)上的电极(13)与测试电极(16)之间生成具有预定密度的等离子体(7),并经由等离子体(7)在电极(13)与测试电极(16)之间传送测试信号。从而可提供一种能够以非接触方式测量显示基板(11)上形成的TFT阵列的电气特性的探测装置及测试装置。 | ||
搜索关键词: | 探测 装置 使用 显示 测试 | ||
【主权项】:
1.一种探测装置,其特征在于如下构成:在与被测试电路连接的电极或配线和测试电极之间生成较高密度的等离子体,并经由所述等离子体在所述电极或配线和所述测试电极之间传送测试信号,从而能够以与所述电极或配线非接触的方式测试所述被测试电路。
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