[发明专利]显影装置、显影方法及显影液循环方法有效
| 申请号： | 200480002989.4 | 申请日： | 2004-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN1745338A | 公开（公告）日： | 2006-03-08 |
| 发明（设计）人： | 谷胁和磨;池田武司;宿南友幸;松本泰明;多田昌广;古谷直树;楠进也;松苗贵久;天满屋裕;三桥则登;茅根博之 | 申请（专利权）人： | 凸版印刷株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;B01D61/14;B01D65/02;B01D65/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种显影装置，具备显影液循环系统、超滤过滤器和滤液/浓缩液循环系统，(1)所述显影液循环系统包括：进行显影处理的显影槽、收容显影液的显影液循环池、将上述显影液循环池内的显影液输送到上述显影槽内的机构、使上述显影槽内进行显影处理所使用过的显影液返回上述显影液循环池内的机构；(2)所述超滤过滤器将上述显影液分离成滤液和浓缩液；(3)所述滤液/浓缩液循环系统包括：收容从上述显影液循环池中取出一部分的显影液的超滤浓缩液池、将上述超滤浓缩液池内的显影液输送到上述超滤过滤器的机构、使在上述超滤过滤器中被分离的浓缩液返回上述超滤浓缩液池内的机构、以及使在上述超滤过滤器中被分离的滤液返回上述显影液循环系统的机构。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 装置 方法 显影液 循环 | ||
【主权项】：
1.一种显影装置，其特征在于：具备显影液循环系统、超滤过滤器和滤液/浓缩液循环系统，(1)所述显影液循环系统包括：进行显影处理的显影槽、收容显影液的显影液循环池、将上述显影液循环池内的显影液输送到上述显影槽内的机构、使上述显影槽内进行显影处理所使用过的显影液返回上述显影液循环池内的机构；(2)所述超滤过滤器将上述显影液分离成滤液和浓缩液；(3)所述滤液/浓缩液循环系统包括：收容从上述显影液循环池中取出了一部分的显影液的超滤浓缩液池、将上述超滤浓缩液池内的显影液输送到上述超滤过滤器中的机构、使在上述超滤过滤器中被分离的浓缩液返回上述超滤浓缩液池内的机构、使在上述超滤过滤器中被分离的滤液返回上述显影液循环系统的机构。
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