[发明专利]产生等离子体的电极组件无效
| 申请号： | 200480003103.8 | 申请日： | 2004-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN1745607A | 公开（公告）日： | 2006-03-08 |
| 发明（设计）人： | 弗兰克·斯沃洛;彼得·多宾 | 申请（专利权）人： | 陶氏康宁爱尔兰有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李勇 |
| 地址： | 爱尔*** | 国省代码： | 爱尔兰;IE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种产生等离子体辉光放电和/或介电层放电的组件(1)，包括至少一对基本上等间距隔开的电极(2)，当引入处理气体并且允许气态、液态和/或固态前体通过的情况下，电极之间的间距适于形成一个等离子体区域(8)，其特征在于，至少一个电极(2)包括一个外壳(20)，它具有一个内壁(5)和一个外壁(6)，其中内壁(5，6)是由一种非多孔电介质材料形成的，并且外壳(20)基本上保留了一种至少基本为非金属的导电材料。 | ||
| 搜索关键词： | 产生 等离子体 电极 组件 | ||
【主权项】：
1、一种产生等离子体辉光放电和/或介电层放电的组件(1)，包括至少一对基本上等间距隔开的电极(2)，当引入处理气体并且必要时允许气态、液态和/或固态前体通过的情况下，电极之间的间距适于形成一个等离子体区域(8)，其特征在于，电极(2)中至少一个电极包括一个外壳(20)，所述外壳具有一个内壁(5)和一个外壁(6)，其中内壁(5，6)是由一种非多孔的电介质材料形成的，并且外壳(20)基本上保留至少一种基本为非金属的导电材料。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于陶氏康宁爱尔兰有限公司，未经陶氏康宁爱尔兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200480003103.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
