[发明专利]空间光调制器寻址方法无效
| 申请号： | 200480003211.5 | 申请日： | 2004-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN1745326A | 公开（公告）日： | 2006-03-08 |
| 发明（设计）人： | 托德·卡林 | 申请（专利权）人： | 麦克罗尼克激光系统公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 马高平;杨梧 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | 本发明涉及包括多个像素元件的空间光调制器(500)；每个所述像素元件包括，支承结构(511a、511b)、可被所述支承结构(511a、511b)支承的可静电偏转的镜元件(510a、510b)、至少一个能够静电吸引所述镜元件(510a、510b)的电极(512a、512b)，其中通过先将一连接到所述至少一个电极的电容充电、然后有选择地将所述电容放电到一个预定水平，从而将所述镜元件(510a、510b)单独设置到一所需偏转状态。本发明还涉及打印机、用于操作SLM的方法、图案发生器以及操作图案发生器的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 空间 调制器 寻址 方法 | ||
【主权项】：
1.一种包括许多像素元件的空间光调制器(500)；每个所述像素元件包括，-支承结构(511a、511b)，-被所述支承结构(511a、511b)支承的可静电偏转的镜元件(510a、510b)，-可静电吸引所述镜元件(510a、510b)的至少一个电极(512a、512b)，其中，通过先将连接到所述至少一个电极的一电容充电、然后有选择地将所述电容放电到一预定水平，而将所述镜元件(510a、510b)单独设置到一所需偏转状态。
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