[发明专利]精制抗蚀剂用粗树脂的方法有效
| 申请号： | 200480003485.4 | 申请日： | 2004-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN1748180A | 公开（公告）日： | 2006-03-15 |
| 发明（设计）人： | 羽田英夫;岩井武;宫入美和;室井雅昭;厚地浩太;富田浩明 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;C08F220/28 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种精制抗蚀剂用粗树脂的方法，该方法能够有效去除副产物例如包含在粗树脂中的聚合物和低聚物。该方法提供一种精制在光致抗蚀剂组合物中使用的抗蚀剂树脂(A)的粗树脂的方法，光致抗蚀剂组合物至少包含在第一有机溶剂(C1)中溶解的抗蚀剂树脂(A)和酸生成剂(B)，其中如果光致抗蚀剂组合物中组分(A)的浓度标示为X，在粗树脂溶液中的组分(A)的粗树脂浓度标示为Y，所述粗树脂溶液包含在第二有机溶剂(C2)溶解的组分(A)的粗树脂，那么(i)制备粗树脂溶液，以便Y小于X，和(ii)接着过滤粗树脂溶液。 | ||
| 搜索关键词： | 精制 抗蚀剂用粗 树脂 方法 | ||
【主权项】：
1.一种精制抗蚀剂树脂(A)的粗树脂的方法，所述的抗蚀剂树脂(A)用于光致抗蚀剂组合物，该光致抗蚀剂组合物至少包含在第一有机溶剂(C1)中溶解的抗蚀剂树脂(A)和酸生成剂(B)，其中如果在所述光致抗蚀剂组合物中所述组分(A)的浓度标示为K，在粗树脂溶液中的所述组分(A)的粗树脂浓度标示为Y，所述的粗树脂溶液包含在第二有机溶剂(C2)溶解的所述组分(A)的粗树脂，那么(i)制备所述的粗树脂溶液，以便Y小于X，和(ii)接着过滤所述的粗树脂溶液。
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