[发明专利]用于制造单晶棒的设备和方法有效
| 申请号： | 200480004015.X | 申请日： | 2004-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN1748049A | 公开（公告）日： | 2006-03-15 |
| 发明（设计）人： | L·延森;J·E·彼得森;P·瓦本加德 | 申请（专利权）人： | 托普西尔半导体原料公司 |
| 主分类号： | C30B13/32 | 分类号： | C30B13/32 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 何腾云 |
| 地址： | 丹麦腓*** | 国省代码： | 丹麦;DK |
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| 摘要： | 一种用于由多晶馈送棒(3)制造单晶棒(2)的设备(1)，所述设备(1)包括一个封闭的腔室(4)，馈送棒(3)位于该腔室(4)中，所述腔室(4)包括一个围绕馈送棒(3)设置的环形的能量供应装置(5)，用于使该棒的一端(23)熔融，用以制备单晶体，所述设备包括用于馈送棒(3)的轴向移动的第一移动装置(6)、和用于馈送棒(3)和环形能量供应装置(5)之间的相对旋转运动的第二移动装置(7)。该设备(1)包括：一个监视系统(8)，用于记录馈送棒(3)的表面(9)和与能量供应装置(5)相关的环形径向向内的参照面之间的距离；以及一个用于调整距离的第三移动装置(10)。因此，实现了能够用于不规则馈送棒的设备和方法，所述不规则馈送棒呈现出除理想的圆柱形形状之外的其它形状，所述设备和方法还能够用于具有不规则表面的弯曲的圆柱形和椭圆形的棒。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 单晶棒 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于由多晶馈送棒(3)制造单晶棒(2)的设备，所述设备(1)包括一个封闭的腔室(4)，馈送棒(3)位于该腔室中，所述腔室(4)包括一个围绕馈送棒(3)设置的环形的能量供应装置(5)，用于使该棒的一端(23)熔融用以制备单晶体，所述设备包括用于馈送棒(3)的轴向移动的第一移动装置(6)、和用于馈送棒(3)和环形能量供应装置(5)之间的相对旋转运动的第二移动装置(7)，其特征在于，所述设备(1)包括：一个监视系统(8)，该监视系统用于记录馈送棒(3)的表面(9)和与能量供应装置(5)相关的环形径向向内的参照面之间的距离；一个用于调整该距离的第三移动装置(10)。
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