[发明专利]真空排气系统用阀有效
| 申请号： | 200480004084.0 | 申请日： | 2004-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN1748102A | 公开（公告）日： | 2006-03-15 |
| 发明（设计）人： | 大见忠弘;池田信一;山路道雄;北野真史;森本明弘 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金;大见忠弘 |
| 主分类号： | F16K7/12 | 分类号： | F16K7/12;F16K27/00;F16K51/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种阀，这种阀能够与旨在实现真空排气系统的设备的小型化并由此降低成本和缩短真空排气时间的真空排气系统配管的小口径化相适应，并能够防止由气体分解产生的离解生成物的堆积所导致的内部的腐蚀、堵塞、阀座泄漏等。具体地说，将铝钝态用于在真空排气系统中使用的阀等配管零件，来抑制因烘焙时的温度升高而引起的气体分解，从而提供与真空排气系统的小口径化相适应的零件，特别是使得不会因气体分解产生的生成物的堆积而发生腐蚀、堵塞、阀座泄漏等。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 排气 系统 | ||
【主权项】：
1.一种真空排气系统用阀，具有：在与流入通路和流出通路连通的阀室的底面上设置有阀座的阀体；就位于前述阀座上或从前述阀座上离开的阀芯；使前述阀芯就位于阀座上并且使其从阀座上离开的驱动机构；通过前述阀芯就位于阀座上或从阀座上离开，将流路隔断或打开，对流体的流动进行控制，其中，至少阀体的与流体接触的面设成铝钝态。
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