[发明专利]用于电路板的检查设备和用于电路板的检查方法

摘要

提供一种用于电路板的检查设备，用于进行电检查，其中借助于通过各向异性导电板把检查对象电路板的检测对象电极电连接到多个检查电极来进行所述电检查，所述多个检查电极按照对应于检测对象电极的图案被形成，其中上侧板挤压部件和下侧板挤压部件的每一个借助于支撑嵌入板的多个支撑分别被设置在检查对象电路板的上侧和下侧上，相应于在各个底板上的各个支撑的上侧支撑点和下侧支撑点被设置在当从上方观看检查设备时沿上侧板挤压部件和下侧板挤压部件的厚度方向投影的平面上的互不相同的位置，从而使得即使对于具有小的检查对象电极的电路板，也能以高的可靠性进行检查。还提供一种用于电路板的检查方法。

主权项

1.一种用于电路板的检查设备，用于进行检查对象电路板的电检查，其中借助于通过各向异性导电板把检查对象电路板的检测对象电极电连接到多个检查电极来进行所述电检查，所述多个检查电极按照对应于检查对象电极的图案被形成，所述检查设备包括：上侧板挤压部件，其被设置在检查对象电路板的上侧上，以及下侧板挤压部件，其被设置在检查对象电路板的下侧上，其中，所述上侧板挤压部件和所述下侧板挤压部件中的每一个具有多个检查电极，上侧板挤压部件和下侧板挤压部件被分别提供在由多个被嵌入支撑嵌入板中的支撑所支撑着的底板上，并且上侧支撑点对应于和上侧板挤压部件相关的上侧底板上的上侧支撑，下侧支撑点对应于和下侧板挤压部件相关的下侧底板上的下侧支撑，它们被设置在当从上方观看该检查设备时，沿上侧板挤压部件和下侧板挤压部件的厚度方向投影的平面上的相互不同的位置。