[发明专利]电容器及制造电容器的方法有效
申请号: | 200480004600.X | 申请日: | 2004-02-17 |
公开(公告)号: | CN1751367A | 公开(公告)日: | 2006-03-22 |
发明(设计)人: | H·-J·巴斯;P·菲斯纳;E·卡塔里奥鲁;U·科斯特;T·沙夫鲍尔 | 申请(专利权)人: | 因芬尼昂技术股份公司 |
主分类号: | H01G4/06 | 分类号: | H01G4/06;H01G4/40;H01L21/77 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 吴立明;王忠忠 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明系提供一种半导体装置,其系具有由一高K电介质及一对在该电介质两侧之相互连接所形成之电容,本发明亦提供一种制造此种半导体装置之方法。该相互连接包含一通孔及一金属层。 | ||
搜索关键词: | 电容器 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种电容器,其包含:一第一电极,其系形成于一半导体衬底内,该第一电极包含一第一通孔及一连接于该第一通孔之金属层,该第一电极系电连接于该半导体衬底之一第一区域;一第二电极,其系形成于该半导体衬底内,该第二电极包含一第二通孔及一连接于该第二通孔之金属层,该第二电极系电连接于该半导体衬底之一第二区域;以及一高K电介质,其系置于该第一电极和该第二电极之间。
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