[发明专利]电容器及制造电容器的方法有效

专利信息
申请号: 200480004600.X 申请日: 2004-02-17
公开(公告)号: CN1751367A 公开(公告)日: 2006-03-22
发明(设计)人: H·-J·巴斯;P·菲斯纳;E·卡塔里奥鲁;U·科斯特;T·沙夫鲍尔 申请(专利权)人: 因芬尼昂技术股份公司
主分类号: H01G4/06 分类号: H01G4/06;H01G4/40;H01L21/77
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 吴立明;王忠忠
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明系提供一种半导体装置,其系具有由一高K电介质及一对在该电介质两侧之相互连接所形成之电容,本发明亦提供一种制造此种半导体装置之方法。该相互连接包含一通孔及一金属层。
搜索关键词: 电容器 制造 方法
【主权项】:
1.一种电容器,其包含:一第一电极,其系形成于一半导体衬底内,该第一电极包含一第一通孔及一连接于该第一通孔之金属层,该第一电极系电连接于该半导体衬底之一第一区域;一第二电极,其系形成于该半导体衬底内,该第二电极包含一第二通孔及一连接于该第二通孔之金属层,该第二电极系电连接于该半导体衬底之一第二区域;以及一高K电介质,其系置于该第一电极和该第二电极之间。
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