[发明专利]基板加工用台和基板加工装置无效
| 申请号： | 200480004693.6 | 申请日： | 2004-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN1750917A | 公开（公告）日： | 2006-03-22 |
| 发明（设计）人： | 曾山正信 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;C03B33/03;B23Q3/08 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 何腾云 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 作为基板加工用台，以层状构成第1副台、第2副台、橡胶板、金属板。具有多个基板吸附孔，该多个基板吸附孔贯通副台、橡胶板、及金属板，用于吸引基板。另外，具有多个硬性片吸附孔，该多个硬性片吸附孔贯通第2副台和橡胶板，用于吸引金属板。当固定基板时，通过形成于第2副台的下部的空洞部排气，使各吸附孔为负压。由这样的构成，可改善基板的保持方法，提高截断基板时的划线工序的划线功能和截断工序的截断功能。 | ||
| 搜索关键词： | 基板加 工用 加工 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板加工用台，具有第1副台、第2副台、预定厚度的弹性片、及硬性片；该第2副台载置在上述第1副台的上面；该预定厚度的弹性片设于上述第2副台的上面；该硬性片设于上述弹性片的上面，用于载置成为加工对象的基板；其特征在于：具有多个基板吸附孔、多个硬性片吸附孔、连通部；该多个基板吸附孔贯通上述第2副台、上述弹性片、及上述硬性片，用于吸引上述基板；该多个硬性片吸附孔贯通上述第2副台和上述弹性片，用于吸引上述硬性片；该连通部用于使上述基板吸附孔和上述硬性片吸附孔的下端与真空源连通。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星钻石工业股份有限公司，未经三星钻石工业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200480004693.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
