[发明专利]图案产生方法

摘要

一种通过将至少一个激光束聚焦到对激光束的波长感光的大面积工件而曝光所述高精度图案的方法，包括步骤：提供至少一个描述图案中的几何元素的数据库；利用可移动滑架上的光学头，将至少一个激光束在第一方向(y)偏转并聚焦于工件表面；根据数据库中的数据来调制至少一个激光束的光功率；在第一方向(y)上，相对工件步进移动包括可移动滑架的导轨；在大致垂直第一方向(y)的第二方向(x)，相对工件连续移动包括光学头的滑架；保持工件位置固定而曝光高精度大面积图案。本发明还涉及对大面积工件构图的装置。

主权项

1.一种通过将至少一个激光束聚焦到一大面积工件上而曝光高精度图案的方法，所述工件在所述激光束的一波长处为感光性的，所述方法包括步骤：提供描述图案中的几何元素的至少一个数据库；借助于安装在一可移动滑架上的一光学头，将所述至少一个激光束在一第一方向(y)上偏转并聚焦到所述工件的表面上；根据所述至少一个数据库中的数据调制所述至少一个激光束的光功率；在第一方向(y)上，相对于所述工件，步进地移动包括所述可移动滑架的一导轨；在大致垂直于所述第一方向(y)的一第二方向(x)上，相对于所述工件，连续地移动包括所述光学头的所述滑架；并且，保持所述工件处于一固定位置而曝光高精度图案。