[发明专利]超精密微小差压测量装置及超精密差压测量装置无效
| 申请号： | 200480004817.0 | 申请日： | 2004-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN1751231A | 公开（公告）日： | 2006-03-22 |
| 发明（设计）人： | 世古口言彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金;世古口言彦 |
| 主分类号： | G01L13/06 | 分类号： | G01L13/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种超精密微小差压测量装置，其在不经由机械的滑动部的情况下将微小差压传递给电子式称量·压力转换器，由此，可以以高精度连续地测量微小差压，且构造简单从而可大幅度地降低制造成本。具体地说，超精密微小差压测量装置包括：装置主体(1)，其在内部具有空间部；受压板(3)，其配置在装置主体(1)的内部空间内，将该内部空间气密地划分为下部空间(7)和上部空间(8)；电子式称量·压力转换器(2)，其配置在下部空间(7)内，在其上支承固定受压板(3)；液封部(R)，其对上述受压板(3)的外周缘部进行液封，保持下部空间(7)和上部空间(8)之间的气密；经由受压板(3)通过电子式称量·压力转换器(2)测量上部空间(8)内的压力(P1)和下部空间(7)内的压力(P2)之间的微小差压。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 微小 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种超精密微小差压测量装置，其特征在于，包括：装置主体(1)，其在内部具有空间部；受压板(3)，其配置在装置主体(1)的内部空间内，将该内部空间气密地划分为下部空间(7)和上部空间(8)；电子式称量·压力转换器(2)，其配置在下部空间(7)内，在其上支承固定受压板(3)；液封部(R)，其对上述受压板(3)的外周缘部进行液封，保持下部空间(7)和上部空间(8)之间的气密；该装置构成为，经由受压板(3)，通过电子式称量·压力转换器(2)测量上部空间(8)内的压力(P1)和下部空间(7)内的压力(P2)之间的微小差压。
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