[发明专利]液晶面板用曝光装置及曝光装置无效
| 申请号： | 200480004891.2 | 申请日： | 2004-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN1754129A | 公开（公告）日： | 2006-03-29 |
| 发明（设计）人： | 大见忠弘;武久究;森山司郎;酒卷诚 | 申请（专利权）人： | 大见忠弘;日本陶瓷科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027;G02F1/13;C04B35/565;C04B35/584 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 对于液晶面板用曝光装置(100)的掩模台面(2)和基板台面(12)，使用具有蜂窝构造的，在碳化硅中添加了玻璃的复合陶瓷材料。 | ||
| 搜索关键词： | 液晶面板 曝光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种液晶面板用曝光装置，其特征在于，为了将掩模上的图案曝光转印到基板上，在利用台面一边移动上述掩模和基板中至少一个，一边进行曝光的曝光装置中，作为构成上述台面的材质，使用密度在3.0g/cm3以下的陶瓷。
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