[发明专利]微机械加工的集成单片三轴加速度计无效
| 申请号： | 200480005010.9 | 申请日： | 2004-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN101069099A | 公开（公告）日： | 2007-11-07 |
| 发明（设计）人： | 谢会开;加里·K·费德;潘志宇;威廉·弗雷 | 申请（专利权）人： | 佛罗里达大学 |
| 主分类号： | G01P15/18 | 分类号： | G01P15/18;G01P15/125;G01P15/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐谦;杨红梅 |
| 地址： | 美国佛*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种单片集成三轴加速度计芯片，包括单晶基板，该基板包括至少一个单晶膜层部分。由单晶膜形成的单个传感器微结构感测全部三个正交方向的每个上的加速度。至少一个电子电路亦可设置在该芯片上，如用于驱动、检测、控制和信号处理的电路。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 加工 集成 单片 加速度计 | ||
【主权项】：
1.一种单片集成3轴加速度计芯片，包括：单晶基板，所述单晶基板包括至少一个单晶膜层部分，以及单个传感器微结构，使用所述膜层形成，所述传感器微结构电容性地感测全部三个正交轴上的加速度。
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