[发明专利]球面光散射和远场相位测量无效

专利信息
申请号: 200480005304.1 申请日: 2004-02-26
公开(公告)号: CN1871505A 公开(公告)日: 2006-11-29
发明(设计)人: 雷蒙德·J·卡斯顿瓜伊 申请(专利权)人: 雷蒙德·J·卡斯顿瓜伊
主分类号: G01N21/47 分类号: G01N21/47;G01B9/02
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人: 杨林森;谷惠敏
地址: 美国亚*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 远场测量装置(10,50,150)具有多个成像透镜(14,40),所述成像透镜(14,40)被切割成五角形的形状,并且在网格球面构造中布置,而且具有聚焦到将要被测量的散射光(26)的光源(S)上的共同的视场。非球面透镜(40)便于校准大入射角的散射光。在每个透镜(14)后面使用例如摄像机的测量模块(12,78)。测量模块可以由干涉仪或Shack-Hartman波阵面传感器(74)组成,从而能够既测量散射光(26)的强度又测量散射光(26)的相位。
搜索关键词: 球面 散射 相位 测量
【主权项】:
1.一种用于测量从样品表面上的点光源传播的光的装置,该装置包括:平台,用于保持样品表面;多个多象素传感器,用于测量从样品表面上的所述点光源径向传播的部分光的强度值;以及光学系统,用于使所述部分光的预定部分对准所述多个多象素传感器中的一个,以便所述多个多象素传感器中的所述一个中的相应的一组象素接收部分光的每个所述部分。
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