[发明专利]卤化物晶体的退火方法无效
| 申请号： | 200480005439.8 | 申请日： | 2004-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN1754012A | 公开（公告）日： | 2006-03-29 |
| 发明（设计）人： | J·W·富瓦西;T·A·坎贝尔 | 申请（专利权）人： | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/12 | 分类号： | C30B29/12;C30B33/00;C30B11/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 朱黎明 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 改进的除气技术用于降低退火炉中氧气和水浓度，从而显著降低(要不然，消除)晶体缺陷。在退火工艺开始时，不仅一次而且多次将退火炉的气密室抽空，并充入惰性气体。在退火过程中，具有或没有氟化剂的惰性气体在加热和冷却步骤过程中流经所述气密室，同时该流动气中氧气和水的浓度各自保持低于5ppm，更好低于1ppm。 | ||
| 搜索关键词： | 卤化物 晶体 退火 方法 | ||
【主权项】：
1.一种使晶体退火的方法，所述方法包括以下步骤：(a)将晶体装入退火炉的气密室中；(b)之后，将所述室抽空；(c)之后，将惰性气体充入所述室；(d)再重复步骤(b)和(c)至少一次；(e)将晶体加热至低于晶体熔点的退火温度；(f)之后，逐步降低晶体的温度。
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