[发明专利]用于检测透明基片中的缺陷的检测装置有效
| 申请号： | 200480005759.3 | 申请日： | 2004-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN1756949A | 公开（公告）日： | 2006-04-05 |
| 发明（设计）人： | K·加哈干;J·希尔特纳 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/896 | 分类号： | G01N21/896 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 钱慰民 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 揭示了用于在像玻璃板这样的透明基片中检测缺陷的方法、装置和系统。该方法、装置和系统能够在透明基片中检测小于100纳米的光程长度变化。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 透明 中的 缺陷 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量透明平面基片中的缺陷的装置，其特征在于：第一空间相干且光谱单一的光源，它用于将光线对准所述基片的主平面上的不同位置；以及包括透镜和第一传感器的光学系统，所述传感器适合于检测穿越薄板不同位置的或从薄板不同位置反射的光线的相位失真，所述相位失真与“光强衬比对不同地点的位置”相关联，所述透镜沿所述光程置于所述光源和所述传感器之间，所述透镜可选择性地增强所述光强的衬比。
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