[发明专利]感光性树脂组合物及其涂膜固化物有效
| 申请号： | 200480005924.5 | 申请日： | 2004-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN1756995A | 公开（公告）日： | 2006-04-05 |
| 发明（设计）人： | 高桥秀幸;石関健二 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;G03F7/004;C08F8/00;C08F290/12 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 胡烨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 感光性树脂组合物，该组合物含有树脂(A1)、自由基引发剂(B)和碱溶性的感光性树脂(D)，上述树脂(A1)具有含氟原子的基团和含硅原子的基团及乙烯性双键，上述感光性树脂(D)在分子内具有3个或3个以上的乙烯性双键。另一感光性树脂组合物含有树脂(A2)、树脂(A3)、自由基引发剂(B)和碱溶性的感光性树脂(D)，上述树脂(A2)具有含氟原子的基团和乙烯性双键，上述树脂(A3)具有含硅原子的基团和乙烯性双键，上述感光性树脂(D)在分子内具有3个或3个以上的乙烯性双键。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 及其 固化 | ||
【主权项】：
1.感光性树脂组合物，其特征在于，含有树脂(A1)、自由基引发剂(B)和可溶于碱的感光性树脂(D)；树脂(A1)具有下式1-CFXRf ……式1表示的基团(a)、下式2-(SiR1R2-O)n-SiR1R2R3 ……式2表示的基团(b)和乙烯性双键(d)，式1中，X表示氢原子、氟原子或三氟甲基，Rf表示氟原子或氢原子的至少一个被氟原子取代的碳原子数20或20以下的烷基，前述烷基包括具有醚性氧原子的烷基，式2中，R1、R2独立地表示氢原子、烷基、环烷基或芳基，R3表示氢原子或碳原子数1～10的有机基团，n表示1～200的整数；可溶于碱的感光性树脂(D)具有酸性基团(c)和分子内3个或3个以上的乙烯性双键(d)，且不具有上述式1表示的基团(a)及上述式2表示的基团(b)。
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