[发明专利]制造电子装置的方法有效
| 申请号： | 200480006105.2 | 申请日： | 2004-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN1757124A | 公开（公告）日： | 2006-04-05 |
| 发明（设计）人： | B·－H·休斯曼;M·E·梅纳贝尼托;T·C·T·格昂斯 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/40 | 分类号： | H01L51/40;H01L51/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张雪梅;王忠忠 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的器件包括由有机半导体材料构成的薄膜晶体管。该半导体材料通过施加首先是保护层其后是光致抗蚀剂而被构图。由此，本发明的晶体管(A)与现有技术的晶体管(B，C)相比显示出很低的漏电流和低的阈值电压。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 电子 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造电子装置的方法，该电子装置包括具有包含有机半导体材料的有源层的薄膜晶体管，所述方法包括以下步骤：把具有有机半导体材料或其前体材料的有源层施加到衬底上；把保护层施加到有源层上，施加，曝光和显影光致抗蚀剂，根据光致抗蚀剂中的图案构图保护层和有源层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
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