[发明专利]酸感应性共聚物及其用途无效
| 申请号： | 200480006412.0 | 申请日： | 2004-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN1980962A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | 牧野繁男;森本秀信;安田清美 | 申请（专利权）人： | 三井化学株式会社 |
| 主分类号： | C08F212/14 | 分类号： | C08F212/14;C08F220/10;C08L25/18;G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 钟晶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种正型光致抗蚀剂组合物，其具有高灵敏度，并且能使用便宜的光酸发生剂，可以近紫外曝光及弱碱显像，具有高分辨率，也能应用于含通孔的基板。该正型光致抗蚀剂组合物由酸感应性共聚物构成，所述酸感应性共聚物包括第1构成单元、第2单元和第3单元，所述第1单元衍生自4－(1－甲基乙烯基)苯酚和/或4－乙烯基苯酚，所述第2单元衍生自(甲基)丙烯酸酯类、所述第3单元衍生自(甲基)丙烯酸烷氧基烷基酯类。 | ||
| 搜索关键词： | 感应 共聚物 及其 用途 | ||
【主权项】：
1.一种酸感应性共聚物，其特征是含有下述通式(1)所示的第1构成单元、下述通式(2)所示的第2构成单元和下述通式(3)所示的第3构成单元，其中，通式(1)所示的第1构成单元为：![]()
式(1)中，X表示氢原子或甲基；通式(2)所示的第2构成单元为：![]()
式(2)中，R1表示氢原子或甲基，R2表示碳原子数1～6的直链或支链的无取代烷基、羟基取代的碳原子数1～6的直链或支链的烷基、卤素原子取代的碳原子数1～6的直链或支链的烷基、氰基取代的碳原子数1～6的直链或支链的烷基或二烷基胺基取代的碳原子数1～6的直链或支链的烷基；通式(3)所示的第3构成单元为：![]()
式(3)中、R3表示氢原子或甲基，R4表示氢原子、卤素原子或碳原子数1～6的直链或支链的无取代烷基，Y表示氢原子、碳原子数1～6的直链或支链的无取代烷基或碳原子数1～6的直链或支链的取代烷基，Z表示碳原子数1～6的直链或支链的无取代烷基或碳原子数1～6的直链或支链的取代烷基，Y和Z也可结合形成环结构；另外，a，b，c表示组成比，a为0.05～0.3、b为0.1～0.7、c为0.2～0.8的有理数，a，b，c的总和为1。
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